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教學實訓設備Teaching Equipment
一、概述
少子壽命測試儀配備有紅外光源，可測量包括硅塊、硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅片等的少子壽命及鍺單晶的少子壽命
二、技術指標
1、儀器測試精度：≤±0.5%；
2、可測少子壽命范圍：0.1μs～7000μs；
3、測試電阻率范圍：≥0.1Ωcm 可擴展到0.01Ωcm；
4、配備光源類型：波長：980±30nm；
5、高頻振蕩源：用石英諧振器，振蕩頻率：30MHz；
6、前置放大器：放大倍數約25，頻寬2Hz～1MHz；
7、測量方式：采用對標準曲線讀書方式。
