一、概述

數字式四探針測試儀是半導體材料的電阻性能測量設備。儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。

二、技術指標

1、測量范圍：電 阻 率：0.0001～2000Ωcm（可擴展）；

                     電 導 率：0.0005～10000s/cm；

                   方塊電阻：0.001～20000Ω（可擴展）；

                      電    阻：0.0001～2000Ωcm。

2、模擬電阻測量相對誤差（按JJG508-87進行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1。

3、可測晶片直徑：140mm×150mm；200mm×200mm；400mm×500mm。

4、恒流源：電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續可調。